研究概要

センサネットワーク、超高感度ナノセンサ、過酷環境センサなど、無線センサ、超高感度・高機能センサの研究に取り組んでいます。

テーマ

表面弾性波や電磁カップリングを利用した無線センサの研究では、圧電基板材料の高効率加工法、パッケージングの基盤技術などの研究を行なう。
電磁カップリング利用センサのセンシング部分を試作する。
超高感度振動型センサ研究では、センサを試作し、原理確認をする。
過酷環境向けセンサ用材料の微細加工技術を研究し、センサへの適用を進める。

メンバー

桑野　博喜

東北大学大学院工学研究科　ナノメカニクス専攻　教授

小野　崇人

東北大学大学院工学研究科　機械システムデザイン工学専攻　教授

田中　秀治

東北大学大学院工学研究科　バイオロボティクス専攻　教授

室山　真徳

東北大学大学院工学研究科　バイオロボティクス専攻　准教授

協働機関

住友精密工業、日本電産コパル電子、北川鉄工所

活動状況

　マイクロシステムとLSI技術との融合の中で、環境センサ、超高感度センサなどがユビキタスセンサネットワークのキーデバイスになるが、これらに関して研究開発を実施する。将来、ユビキタス社会においては、用途に応じて最適センシングを行うことが必要とされる。それは、環境センサでは、感度の高いセンシングであったり、耐環境性を要求されるセンシングであると考えられる。本テーマでは、まず、これら新しいセンサ技術の機能検証から初め、最終的には、超小型、軽量にセンサシステムとして融合されたシステムを実現することを目指す。現在、高感度輻射センサアレイの試作、過酷環境向けセンサ用材料の微細加工技術、無線センサのための圧電基板の加工技術や電磁カップリングなどの基礎研究を進めている。